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上海隽工获得一种晶圆拾取治具专利进步晶圆取放功率
发表时间: 2024-12-27 01:27:54 来源:自动送料振动盘
金融界2024年12月20日音讯,国家知识产权局信息数据显现,上海隽工自动化科技有限公司获得一项名为“一种晶圆拾取治具”的专利,授权公告号 CN 222168336 U,请求日期为2023年12月。
专利摘要显现,本实用新型公开了一种晶圆拾取治具,包含:治具底板和固定套设在其上的治具外罩,治具底板上固定装置快换盘,快换盘与上位自动化设备对接,治具底板四角处贯穿滑动设置压料轴,治具底板上外表斜对角处设置光电传感器,治具底板上外表斜对角处于光电传感器对应的方位上下弹性设置榜首电磁吸盘轴,榜首电磁吸盘轴下端固定装置吸盘式电磁铁,治具底板上外表装置弹性设置第二电磁吸盘轴,治具底板下外表固定装置反射光电传感器。本实用新型经过微型端子台与上位操控办理体系之间传递信号,且合作光电传感器、反射光电传感器、吸盘式电磁铁完成对晶圆的自动化拾取,防止晶圆坠落或污染,进步晶圆取放的功率。
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